SSP/DSP in wafer di zaffiro da 12 pollici C-Plane

Breve descrizione:

Certamente, i wafer di zaffiro da 12 pollici sono un tipo di substrato utilizzato nell'industria dei semiconduttori. Questi wafer sono realizzati in zaffiro monocristallino, una forma cristallina di ossido di alluminio (Al2O3) nota per le sue eccellenti proprietà meccaniche, termiche e ottiche.


Caratteristiche

Introduzione della scatola per wafer

La produzione di wafer di zaffiro da 12 pollici è un processo complesso e specializzato. Ecco alcuni passaggi chiave coinvolti nella produzione di wafer di zaffiro da 12 pollici:

Preparazione del cristallo di rocca: il primo passo è preparare un cristallo di rocca, che fungerà da modello per la crescita dello zaffiro monocristallino. Il cristallo di rocca viene accuratamente modellato e lucidato per garantire il corretto allineamento e la levigatezza della superficie.

Fusione dell'ossido di alluminio: l'ossido di alluminio ad alta purezza (Al2O3) viene fuso in un crogiolo. Il crogiolo è solitamente realizzato in platino o altri materiali inerti resistenti alle alte temperature.

Crescita dei cristalli: l'ossido di alluminio fuso viene quindi inseminato con il cristallo di innesco preparato e raffreddato lentamente mantenendo un'atmosfera controllata. Questo processo consente al cristallo di zaffiro di crescere strato dopo strato, formando un singolo lingotto di cristallo.

Formatura del lingotto: una volta che il cristallo ha raggiunto le dimensioni desiderate, viene rimosso dal crogiolo e modellato in una lingottiera cilindrica. La lingottiera viene poi accuratamente tagliata in sottili cialde.

Lavorazione dei wafer: i wafer tagliati vengono sottoposti a vari processi per ottenere lo spessore, la finitura superficiale e la qualità desiderati. Questi includono lappatura, lucidatura e planarizzazione chimico-meccanica (CMP) per rimuovere i difetti superficiali e ottenere la planarità e la levigatezza desiderate.

Pulizia e ispezione: i wafer lavorati vengono sottoposti a un'accurata pulizia per rimuovere eventuali contaminanti. Vengono quindi ispezionati per individuare eventuali difetti come crepe, graffi e impurità.

Imballaggio e spedizione: infine, i wafer ispezionati vengono imballati e preparati per la spedizione ai clienti, solitamente in appositi contenitori che li proteggono durante il trasporto.

È importante notare che la produzione di wafer di zaffiro da 12 pollici potrebbe richiedere attrezzature e strutture specializzate rispetto a wafer di dimensioni inferiori. Il processo può anche prevedere tecniche avanzate come l'esclusione dei bordi e la gestione dello stress per garantire l'integrità e la qualità dei wafer più grandi.

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Diagramma dettagliato

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