Wafer SiC in carburo di silicio da 6 pollici e 150 mm di tipo 4H-N per la ricerca sulla produzione MOS o SBD e di grado fittizio
Campi di applicazione
Il substrato monocristallino in carburo di silicio da 6 pollici svolge un ruolo cruciale in molteplici settori. In primo luogo, è ampiamente utilizzato nell'industria dei semiconduttori per la fabbricazione di dispositivi elettronici ad alta potenza come transistor di potenza, circuiti integrati e moduli di potenza. La sua elevata conduttività termica e la resistenza alle alte temperature consentono una migliore dissipazione del calore, con conseguente miglioramento dell'efficienza e dell'affidabilità. In secondo luogo, i wafer in carburo di silicio sono essenziali nei campi di ricerca per lo sviluppo di nuovi materiali e dispositivi. Inoltre, il wafer in carburo di silicio trova ampie applicazioni nel campo dell'optoelettronica, inclusa la produzione di LED e diodi laser.
Specifiche del prodotto
Il substrato monocristallino in carburo di silicio da 6 pollici ha un diametro di 6 pollici (circa 152,4 mm). La rugosità superficiale è Ra < 0,5 nm e lo spessore è di 600 ± 25 μm. Il substrato può essere personalizzato con conduttività di tipo N o di tipo P, in base alle esigenze del cliente. Inoltre, presenta un'eccezionale stabilità meccanica, in grado di resistere a pressione e vibrazioni.
Diametro | 150±2,0 mm (6 pollici) | ||||
Spessore | 350 μm±25 μm | ||||
Orientamento | Sull'asse: <0001>±0,5° | Fuori asse: 4,0° verso 1120±0,5° | |||
Politipo | 4H | ||||
Resistività (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Orientamento piatto primario | {10-10}±5,0° | ||||
Lunghezza piana primaria (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Bordo | Smussare | ||||
TTV/Bow/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM frontale (Si-face) | Polacco Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Buccia d'arancia/noccioli/crepe/contaminazione/macchie/striature | Nessuno | Nessuno | Nessuno | ||
rientri | Nessuno | Nessuno | Nessuno |
Il substrato monocristallino in carburo di silicio da 6 pollici è un materiale ad alte prestazioni ampiamente utilizzato nei settori dei semiconduttori, della ricerca e dell'optoelettronica. Offre un'eccellente conduttività termica, stabilità meccanica e resistenza alle alte temperature, rendendolo adatto alla fabbricazione di dispositivi elettronici ad alta potenza e alla ricerca di nuovi materiali. Offriamo diverse specifiche e opzioni di personalizzazione per soddisfare le diverse esigenze dei clienti.Contattateci per maggiori dettagli sui wafer in carburo di silicio!
Diagramma dettagliato

