Metodo Sapphire KY ed EFG Tubo con aste in zaffiro per tubi ad alta pressione
Descrizione
Le aste di zaffiro sono utilizzate in un'ampia gamma di applicazioni. Una barra di zaffiro può essere realizzata con tutte le superfici lucidate per applicazioni ottiche e antiusura o con tutte le superfici levigate finemente (non lucidate) per fungere da isolante.
Tecnologia
Durante il processo di estrazione dei tubi di zaffiro dalla fusione con l'aiuto di un seme, il gradiente longitudinale di temperatura nella zona tra il fronte solidificato e la regione di estrazione dove la temperatura è compresa tra 1850 e 1900 gradi. La C viene mantenuta non superiore a 30 gradi. C/cm. Il tubo così cresciuto viene ricotto ad una temperatura compresa tra 1950 e 2000 gradi. C aumentando la temperatura ad una velocità da 30 a 40 gradi. C/min e mantenendo il tubo a detta temperatura per un periodo compreso tra 3 e 4 ore. Successivamente il tubo viene raffreddato a temperatura ambiente ad una velocità di 30-40 gradi. C/min.
Applicazioni di elaborazione dei semiconduttori
(HPD CVD, PECVD, attacco a secco, attacco a umido).
Tubo applicatore al plasma.
Ugelli iniettori gas di processo.
Rilevatore di punti finali.
Tubi corona ad eccimeri.
Tubi di contenimento del plasma
La sigillatrice per tubi al plasma è un dispositivo utilizzato per incapsulare componenti elettronici. Il suo principio è quello di utilizzare l'alta temperatura e l'alta pressione del plasma per fondere il materiale di imballaggio e incapsularlo sul componente. I componenti principali della sigillatrice per tubi al plasma comprendono il generatore di plasma, la camera di sigillatura dei tubi, il sistema del vuoto, il sistema di controllo, ecc.
Guaina di protezione per termocoppia (pozzetto termometrico)
La termocoppia è un elemento di misurazione della temperatura comunemente usato negli strumenti di misurazione della temperatura, misura direttamente la temperatura e converte il segnale di temperatura in segnale di forza elettromotrice termoelettrica, attraverso lo strumento elettrico (strumento secondario) nella temperatura del mezzo misurato.
Trattamento/pulizia dell'acqua
Proprietà del tubo in zaffiro (teoriche)
Formula composta | Al2O3 |
Peso Molecolare | 101,96 |
Aspetto | Tubi traslucidi |
Punto di fusione | 2050 °C (3720 °F) |
Punto di ebollizione | 2.977°C (5.391°F) |
Densità | 4,0 g/cm3 |
Morfologia | Trigonale (esagono), R3c |
Solubilità in H2O | 98 x 10-6 g/100 g |
Indice di rifrazione | 1.8 |
Resistività elettrica | 17 10x Ω-m |
Rapporto di Poisson | 0,28 |
Calore specifico | 760 J Kg-1 K-1 (293K) |
Resistenza alla trazione | 1390 MPa (finale) |
Conducibilità termica | 30 W/mK |
Dilatazione termica | 5,3 µm/mK |
Modulo di Young | 450 GPa |
Messa esatta | 101,948 g/mol |
Massa monoisotopica | 101.94782 Da |