Dia300x1,0mmt Spessore Wafer in zaffiro Piano C SSP/DSP
Introduzione della scatola per wafer
Materiali cristallini | 99,999% di Al2O3, elevata purezza, monocristallino, Al2O3 | |||
Qualità cristallina | Inclusioni, segni di blocco, gemelli, colore, microbolle e centri di dispersione sono inesistenti | |||
Diametro | 2 pollici | 3 pollici | 4 pollici | 6 pollici ~ 12 pollici |
50,8± 0,1 mm | 76,2±0,2 mm | 100±0,3 mm | In conformità con le disposizioni di produzione standard | |
Spessore | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Può essere personalizzato dal cliente |
Orientamento | Piano C (0001) al piano M (1-100) o piano A (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, piano R (1-1 0 2), piano A (1 1-2 0), piano M (1-1 0 0), qualsiasi orientamento, qualsiasi angolo | |||
Lunghezza piana primaria | 16,0±1 mm | 22,0±1,0 mm | 32,5±1,5 millimetri | In conformità con le disposizioni di produzione standard |
Orientamento primario piatto | Piano A (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
ARCO | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Ordito | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Superficie frontale | Epi-lucidato (Ra< 0,2nm) |
*Arco: la deviazione del punto centrale della superficie mediana di un wafer libero e non bloccato dal piano di riferimento, dove il piano di riferimento è definito dai tre angoli di un triangolo equilatero.
*Warp: differenza tra la distanza massima e quella minima della superficie mediana di un wafer libero e non bloccato dal piano di riferimento definito sopra.
Prodotti e servizi di alta qualità per dispositivi semiconduttori di nuova generazione e crescita epitassiale:
Elevato grado di planarità (TTV controllato, curvatura, curvatura ecc.)
Pulizia di alta qualità (bassa contaminazione da particelle, bassa contaminazione da metalli)
Foratura del substrato, scanalatura, taglio e lucidatura del retro
Allega dati quali pulizia e forma del substrato (facoltativo)
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Diagramma dettagliato

