Grado di ricerca fittizio conduttivo wafer SiC 4H-N da 200 mm
Grazie alle sue proprietà fisiche ed elettroniche uniche, il materiale semiconduttore wafer SiC da 200 mm viene utilizzato per creare dispositivi elettronici ad alte prestazioni, ad alta temperatura, resistenti alle radiazioni e ad alta frequenza. Il prezzo del substrato SiC da 8 pollici sta diminuendo gradualmente man mano che la tecnologia diventa più avanzata e la domanda cresce. I recenti sviluppi tecnologici hanno portato alla produzione su larga scala di wafer SiC da 200 mm. I principali vantaggi dei materiali semiconduttori wafer SiC rispetto ai wafer Si e GaAs: l'intensità del campo elettrico di 4H-SiC durante la rottura a valanga è più di un ordine di grandezza superiore ai valori corrispondenti per Si e GaAs. Ciò porta ad una significativa diminuzione della resistività nello stato Ron. La bassa resistività nello stato attivo, combinata con un'elevata densità di corrente e conduttività termica, consente l'uso di un die molto piccolo per i dispositivi di potenza. L'elevata conduttività termica del SiC riduce la resistenza termica del chip. Le proprietà elettroniche dei dispositivi basati su wafer SiC sono molto stabili nel tempo e in temperatura, il che garantisce un'elevata affidabilità dei prodotti. Il carburo di silicio è estremamente resistente alle radiazioni forti, che non degradano le proprietà elettroniche del chip. L'elevata temperatura operativa limite del cristallo (oltre 6000°C) consente di creare dispositivi altamente affidabili per condizioni operative difficili e applicazioni speciali. Al momento, siamo in grado di fornire piccoli lotti di wafer SiC da 200 mm in modo costante e continuo e disponiamo di alcune scorte in magazzino.
Specifica
Numero | Articolo | Unità | Produzione | Ricerca | Manichino |
1. Parametri | |||||
1.1 | politipo | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | orientamento della superficie | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
2. Parametro elettrico | |||||
2.1 | drogante | -- | Azoto di tipo n | Azoto di tipo n | Azoto di tipo n |
2.2 | resistività | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
3. Parametro meccanico | |||||
3.1 | diametro | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
3.2 | spessore | µm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Orientamento della tacca | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Profondità della tacca | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
3.5 | LTV | µm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
3.6 | TTV | µm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Arco | µm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Ordito | µm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra ≤ 0,2 | Ra ≤ 0,2 | Ra ≤ 0,2 |
4. Struttura | |||||
4.1 | densità del microtubo | cad/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | contenuto di metallo | atomi/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | cad/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | BPD | cad/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | TED | cad/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. Qualità positiva | |||||
5.1 | anteriore | -- | Si | Si | Si |
5.2 | finitura superficiale | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
5.3 | particella | pezzo/cialda | ≤100 (dimensione≥0,3μm) | NA | NA |
5.4 | graffio | pezzo/cialda | ≤5,Lunghezza totale≤200mm | NA | NA |
5.5 | Bordo scheggiature/tacche/crepe/macchie/contaminazione | -- | Nessuno | Nessuno | NA |
5.6 | Aree di politipo | -- | Nessuno | Area ≤10% | Area ≤30% |
5.7 | marcatura frontale | -- | Nessuno | Nessuno | Nessuno |
6. Qualità della schiena | |||||
6.1 | finitura posteriore | -- | MP faccia C | MP faccia C | MP faccia C |
6.2 | graffio | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Bordo dei difetti del retro scheggiature/rientranze | -- | Nessuno | Nessuno | NA |
6.4 | Rugosità della schiena | nm | Ra ≤5 | Ra ≤5 | Ra ≤5 |
6.5 | Marcatura sul retro | -- | Tacca | Tacca | Tacca |
7. Bordo | |||||
7.1 | bordo | -- | Smussare | Smussare | Smussare |
8. Pacchetto | |||||
8.1 | confezione | -- | Epi-ready con vuoto confezione | Epi-ready con vuoto confezione | Epi-ready con vuoto confezione |
8.2 | confezione | -- | Multiwafer confezione della cassetta | Multiwafer confezione della cassetta | Multiwafer confezione della cassetta |