Wafer SiC 4H-N da 8 pollici e 200 mm, conduttivo, di qualità da ricerca

Breve descrizione:

Con l'evoluzione dei mercati dei trasporti, dell'energia e dell'industria, la domanda di elettronica di potenza affidabile e ad alte prestazioni continua a crescere. Per soddisfare l'esigenza di migliori prestazioni dei semiconduttori, i produttori di dispositivi si stanno rivolgendo a materiali semiconduttori ad ampio bandgap, come il nostro portafoglio di wafer di carburo di silicio (SiC) 4H di tipo n di grado Prime Grade.


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Grazie alle sue proprietà fisiche ed elettroniche uniche, il materiale semiconduttore per wafer di SiC da 200 mm viene utilizzato per creare dispositivi elettronici ad alte prestazioni, ad alta temperatura, resistenti alle radiazioni e ad alta frequenza. Il prezzo del substrato di SiC da 8 pollici sta diminuendo gradualmente con l'avanzare della tecnologia e la crescita della domanda. I recenti sviluppi tecnologici hanno portato alla produzione su larga scala di wafer di SiC da 200 mm. I principali vantaggi dei materiali semiconduttori per wafer di SiC rispetto ai wafer di Si e GaAs: l'intensità del campo elettrico del 4H-SiC durante la scarica a valanga è di oltre un ordine di grandezza superiore ai valori corrispondenti per Si e GaAs. Ciò porta a una significativa riduzione della resistività nello stato attivo Ron. La bassa resistività nello stato attivo, combinata con un'elevata densità di corrente e conduttività termica, consente l'utilizzo di die molto piccoli per i dispositivi di potenza. L'elevata conduttività termica del SiC riduce la resistenza termica del chip. Le proprietà elettroniche dei dispositivi basati su wafer di SiC sono estremamente stabili nel tempo e in temperatura, il che garantisce un'elevata affidabilità dei prodotti. Il carburo di silicio è estremamente resistente alle radiazioni intense, il che non degrada le proprietà elettroniche del chip. L'elevata temperatura limite di esercizio del cristallo (oltre 6000 °C) consente di creare dispositivi altamente affidabili per condizioni operative difficili e applicazioni speciali. Attualmente, siamo in grado di fornire in modo continuativo e costante piccoli lotti di wafer di SiC da 200 mm e disponiamo di una certa quantità di scorte a magazzino.

Specificazione

Numero Articolo Unità Produzione Ricerca Manichino
1. Parametri
1.1 politipo -- 4H 4H 4H
1.2 orientamento della superficie ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parametro elettrico
2.1 drogante -- azoto di tipo n azoto di tipo n azoto di tipo n
2.2 resistività ohm · cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parametro meccanico
3.1 diametro mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 spessore micron 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientamento della tacca ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Profondità della tacca mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 LTV micron ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV micron ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arco micron -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Ordito micron ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Struttura
4.1 densità dei microtubi ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 contenuto di metallo atomi/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 Disturbo Borderline di Personalità ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Qualità positiva
5.1 davanti -- Si Si Si
5.2 finitura superficiale -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 particella ea/cialda ≤100 (dimensione ≥0,3μm) NA NA
5.4 graffio ea/cialda ≤5, lunghezza totale ≤200 mm NA NA
5.5 Bordo
scheggiature/ammaccature/crepe/macchie/contaminazione
-- Nessuno Nessuno NA
5.6 Aree politipiche -- Nessuno Area ≤10% Area ≤30%
5.7 marcatura frontale -- Nessuno Nessuno Nessuno
6. Qualità della schiena
6.1 finitura posteriore -- C-face MP C-face MP C-face MP
6.2 graffio mm NA NA NA
6.3 Difetti posteriori bordo
scheggiature/ammaccature
-- Nessuno Nessuno NA
6.4 Rugosità posteriore nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Marcatura posteriore -- Tacca Tacca Tacca
7. Bordo
7.1 bordo -- Smussare Smussare Smussare
8. Pacchetto
8.1 confezione -- Epi-ready con vuoto
confezione
Epi-ready con vuoto
confezione
Epi-ready con vuoto
confezione
8.2 confezione -- Multi-wafer
imballaggio in cassetta
Multi-wafer
imballaggio in cassetta
Multi-wafer
imballaggio in cassetta

Diagramma dettagliato

SiC03 da 8 pollici
SiC4 da 8 pollici
SiC5 da 8 pollici
SiC6 da 8 pollici

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