Grado di ricerca fittizio conduttivo wafer SiC 4H-N da 200 mm

Breve descrizione:

Con l’evoluzione dei mercati dei trasporti, dell’energia e dell’industria, la domanda di dispositivi elettronici di potenza affidabili e ad alte prestazioni continua a crescere. Per soddisfare le esigenze di miglioramento delle prestazioni dei semiconduttori, i produttori di dispositivi stanno cercando materiali semiconduttori con ampio bandgap, come il nostro portafoglio 4H SiC Prime Grade di wafer in carburo di silicio (SiC) di tipo 4H n.


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Grazie alle sue proprietà fisiche ed elettroniche uniche, il materiale semiconduttore wafer SiC da 200 mm viene utilizzato per creare dispositivi elettronici ad alte prestazioni, ad alta temperatura, resistenti alle radiazioni e ad alta frequenza. Il prezzo del substrato SiC da 8 pollici sta diminuendo gradualmente man mano che la tecnologia diventa più avanzata e la domanda cresce. I recenti sviluppi tecnologici hanno portato alla produzione su larga scala di wafer SiC da 200 mm. I principali vantaggi dei materiali semiconduttori wafer SiC rispetto ai wafer Si e GaAs: l'intensità del campo elettrico di 4H-SiC durante la rottura a valanga è più di un ordine di grandezza superiore ai valori corrispondenti per Si e GaAs. Ciò porta ad una significativa diminuzione della resistività nello stato Ron. La bassa resistività nello stato attivo, combinata con un'elevata densità di corrente e conduttività termica, consente l'uso di un die molto piccolo per i dispositivi di potenza. L'elevata conduttività termica del SiC riduce la resistenza termica del chip. Le proprietà elettroniche dei dispositivi basati su wafer SiC sono molto stabili nel tempo e in temperatura, il che garantisce un'elevata affidabilità dei prodotti. Il carburo di silicio è estremamente resistente alle radiazioni forti, che non degradano le proprietà elettroniche del chip. L'elevata temperatura operativa limite del cristallo (oltre 6000°C) consente di creare dispositivi altamente affidabili per condizioni operative difficili e applicazioni speciali. Al momento, siamo in grado di fornire piccoli lotti di wafer SiC da 200 mm in modo costante e continuo e disponiamo di alcune scorte in magazzino.

Specifica

Numero Articolo Unità Produzione Ricerca Manichino
1. Parametri
1.1 politipo -- 4H 4H 4H
1.2 orientamento della superficie ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parametro elettrico
2.1 drogante -- Azoto di tipo n Azoto di tipo n Azoto di tipo n
2.2 resistività ohm ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parametro meccanico
3.1 diametro mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 spessore µm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientamento della tacca ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Profondità della tacca mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 LTV µm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV µm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arco µm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Ordito µm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra ≤ 0,2 Ra ≤ 0,2 Ra ≤ 0,2
4. Struttura
4.1 densità del microtubo cad/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 contenuto di metallo atomi/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD cad/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD cad/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED cad/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Qualità positiva
5.1 anteriore -- Si Si Si
5.2 finitura superficiale -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 particella pezzo/cialda ≤100 (dimensione≥0,3μm) NA NA
5.4 graffio pezzo/cialda ≤5,Lunghezza totale≤200mm NA NA
5.5 Bordo
scheggiature/tacche/crepe/macchie/contaminazione
-- Nessuno Nessuno NA
5.6 Aree di politipo -- Nessuno Area ≤10% Area ≤30%
5.7 marcatura frontale -- Nessuno Nessuno Nessuno
6. Qualità della schiena
6.1 finitura posteriore -- MP faccia C MP faccia C MP faccia C
6.2 graffio mm NA NA NA
6.3 Bordo dei difetti del retro
scheggiature/rientranze
-- Nessuno Nessuno NA
6.4 Rugosità della schiena nm Ra ≤5 Ra ≤5 Ra ≤5
6.5 Marcatura sul retro -- Tacca Tacca Tacca
7. Bordo
7.1 bordo -- Smussare Smussare Smussare
8. Pacchetto
8.1 confezione -- Epi-ready con vuoto
confezione
Epi-ready con vuoto
confezione
Epi-ready con vuoto
confezione
8.2 confezione -- Multiwafer
confezione della cassetta
Multiwafer
confezione della cassetta
Multiwafer
confezione della cassetta

Diagramma dettagliato

SiC03 da 8 pollici
SiC4 da 8 pollici
SiC5 da 8 pollici
SiC6 da 8 pollici

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