GaN da 50,8 mm e 2 pollici su wafer epi-strato in zaffiro

Breve descrizione:

Essendo il materiale semiconduttore di terza generazione, il nitruro di gallio presenta i vantaggi di resistenza alle alte temperature, elevata compatibilità, elevata conduttività termica e ampio intervallo di banda.In base ai diversi materiali del substrato, i fogli epitassiali di nitruro di gallio possono essere suddivisi in quattro categorie: nitruro di gallio a base di nitruro di gallio, nitruro di gallio a base di carburo di silicio, nitruro di gallio a base di zaffiro e nitruro di gallio a base di silicio.Il foglio epitassiale in nitruro di gallio a base di silicio è il prodotto più utilizzato con bassi costi di produzione e tecnologia di produzione matura.


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Applicazione di un foglio epitassiale GaN in nitruro di gallio

In base alle prestazioni del nitruro di gallio, i chip epitassiali di nitruro di gallio sono adatti principalmente per applicazioni ad alta potenza, alta frequenza e bassa tensione.

Si riflette in:

1) Banda proibita elevata: la banda proibita elevata migliora il livello di tensione dei dispositivi al nitruro di gallio e può produrre una potenza maggiore rispetto ai dispositivi all'arseniuro di gallio, che è particolarmente adatto per stazioni base di comunicazione 5G, radar militari e altri campi;

2) Elevata efficienza di conversione: la resistenza dei dispositivi elettronici di potenza di commutazione al nitruro di gallio è inferiore di 3 ordini di grandezza rispetto a quella dei dispositivi al silicio, il che può ridurre significativamente la perdita di commutazione;

3) Elevata conduttività termica: l'elevata conduttività termica del nitruro di gallio gli conferisce eccellenti prestazioni di dissipazione del calore, adatte per la produzione di dispositivi ad alta potenza, alta temperatura e altri campi;

4) Intensità del campo elettrico di rottura: sebbene l'intensità del campo elettrico di rottura del nitruro di gallio sia vicina a quella del nitruro di silicio, a causa del processo di semiconduttore, della mancata corrispondenza del reticolo del materiale e di altri fattori, la tolleranza di tensione dei dispositivi al nitruro di gallio è solitamente di circa 1000 V e la la tensione per un utilizzo sicuro è solitamente inferiore a 650 V.

Articolo

GaN-TCU-C50

GaN-TCN-C50

GaN-TCP-C50

Dimensioni

e50,8 mm ± 0,1 mm

Spessore

4,5±0,5 µm

4,5±0,5um

Orientamento

Piano C(0001) ±0,5°

Tipo di conduzione

Tipo N (non drogato)

Tipo N (drogato con Si)

Tipo P (drogato con Mg)

Resistività (3O0K)

< 0,5 Q・cm

< 0,05 Q・cm

~ 10 Q・cm

Concentrazione del portatore

<5x1017cm-3

>1×1018cm-3

>6x1016cm-3

Mobilità

~ 300cm2/Vs

~200cm2/Vs

~10cm2/Vs

Densità di dislocazione

Meno di 5x108cm-2(calcolato da FWHM di XRD)

Struttura del substrato

GaN su Sapphire (Standard: Opzione SSP: DSP)

Superficie utilizzabile

> 90%

Pacchetto

Confezionato in camera bianca di classe 100, in cassette da 25 pezzi o contenitori wafer singoli, sotto atmosfera di azoto.

* Altri spessori possono essere personalizzati

Diagramma dettagliato

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