Wafer in zaffiro da 6 pollici da 156 mm 159 mm per carrierC-Plane DSP TTV

Wafer in zaffiro da 156 mm 159 mm da 6 pollici per carrierC-Plane DSP TTV Immagine in evidenza

Breve descrizione:

Wafer in zaffiro lucidato su entrambi i lati (DSP) Al2O3 da 6″ con diametro di 156 mm/159 mm, con TTV inferiore a 3 micron per schede portanti.Wafer aggiuntivi da 8″/6″/5″/2″/3″/4″/5″ asse C, asse A, asse R, asse M.Wafer in zaffiro C-plane fino a 6 pollici (6″/6 pollici) di diametro, con superfici lucidate su un lato (SSP) o lucidate su due lati (DSP) e con spessori di 650 micron o 1000 micron.

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Specifica

Articolo	Wafer in zaffiro C-plane da 6 pollici (0001).
Materiali di cristallo	99,999%, Al2O3 monocristallino di elevata purezza
Grado	Prime, Epi-Ready
Orientamento della superficie	Piano C(0001)
	Angolo fuori piano C rispetto all'asse M 0,2 +/- 0,1°
Diametro	100,0 mm +/- 0,1 mm
Spessore	650 μm +/- 25 μm
Orientamento piatto primario	Piano C(00-01) +/- 0,2°
Lato singolo lucido	Superficie anteriore	Epi-lucidato, Ra <0,2 nm (mediante AFM)
(SSP)	Superficie posteriore	Macinato fine, Ra = da 0,8 μm a 1,2 μm
Doppio lato lucido	Superficie anteriore	Epi-lucidato, Ra <0,2 nm (mediante AFM)
(DSP)	Superficie posteriore	Epi-lucidato, Ra <0,2 nm (mediante AFM)
TTV	< 20 μm
ARCO	< 20 μm
ORDITO	< 20 μm
Pulizia/Imballaggio	Pulizia di camere bianche e confezionamento sottovuoto di classe 100,
	25 pezzi in confezione a cassetta o confezione singola.

Il metodo Kylopoulos (metodo KY) è attualmente utilizzato da molte aziende in Cina per produrre cristalli di zaffiro da utilizzare nell'industria elettronica e ottica.

In questo processo, l'ossido di alluminio ad elevata purezza viene fuso in un crogiolo a temperature superiori a 2100 gradi Celsius.Di solito il crogiolo è fatto di tungsteno o molibdeno.Un seme di cristallo orientato con precisione è immerso nell'allumina fusa.Il cristallo seme viene lentamente tirato verso l'alto e può essere ruotato contemporaneamente.Controllando con precisione il gradiente di temperatura, la velocità di estrazione e la velocità di raffreddamento, dalla fusione è possibile produrre un grande lingotto monocristallino, quasi cilindrico.

Dopo che i lingotti di zaffiro monocristallino sono cresciuti, vengono forati in barre cilindriche, che vengono poi tagliate allo spessore della finestra desiderato e infine lucidate fino alla finitura superficiale desiderata.