Wafer in zaffiro da 156 mm 159 mm 6 pollici per supporto C-Plane DSP TTV

Breve descrizione:

Wafer in zaffiro Al2O3 da 6" con doppio lato lucidato (DSP) da 156 mm/159 mm di diametro e TTV inferiore a 3 micron per schede carrier. Wafer aggiuntivi da 8"/6"/5"/2"/3"/4"/5" con asse C, asse A, asse R, asse M. Wafer in zaffiro sul piano C fino a 6 pollici (6"/6 pollici) di diametro, con superfici lucidate su un solo lato (SSP) o su entrambi i lati (DSP) e con spessori di 650 micron o 1000 micron.

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Caratteristiche

Specifica

Articolo	Wafer in zaffiro da 6 pollici C-plane (0001)
Materiali cristallini	Al2O3 monocristallino, elevata purezza, 99,999%
Grado	Prime, pronto per Epi
Orientamento della superficie	Piano C (0001)
	Piano C fuori angolo rispetto all'asse M 0,2 +/- 0,1°
Diametro	100,0 millimetri +/- 0,1 millimetri
Spessore	650 μm +/- 25 μm
Orientamento primario piatto	Piano C (00-01) +/- 0,2°
Lucidato su un solo lato	Superficie frontale	Lucidato epi, Ra < 0,2 nm (tramite AFM)
(SSP)	Superficie posteriore	Macinato finemente, Ra = da 0,8 μm a 1,2 μm
Doppio lato lucidato	Superficie frontale	Lucidato epi, Ra < 0,2 nm (tramite AFM)
(DSP)	Superficie posteriore	Lucidato epi, Ra < 0,2 nm (tramite AFM)
TTV	< 20 μm
ARCO	< 20 μm
ORDITO	< 20 μm
Pulizia / Imballaggio	Pulizia di camere bianche di classe 100 e confezionamento sottovuoto,
	25 pezzi in una confezione a cassetta o in un singolo pezzo.

Il metodo Kylopoulos (metodo KY) è attualmente utilizzato da molte aziende in Cina per produrre cristalli di zaffiro da utilizzare nei settori dell'elettronica e dell'ottica.

In questo processo, l'ossido di alluminio ad alta purezza viene fuso in un crogiolo a temperature superiori a 2100 gradi Celsius. Solitamente il crogiolo è realizzato in tungsteno o molibdeno. Un cristallo-seme orientato con precisione viene immerso nell'allumina fusa. Il cristallo-seme viene lentamente tirato verso l'alto e può essere ruotato simultaneamente. Controllando con precisione il gradiente di temperatura, la velocità di tiraggio e la velocità di raffreddamento, è possibile produrre dalla fusione un grande lingotto monocristallino, pressoché cilindrico.

Dopo la produzione, i lingotti di zaffiro monocristallino vengono forati fino a ottenere barre cilindriche, che vengono poi tagliate allo spessore desiderato e infine lucidate fino a ottenere la finitura superficiale desiderata.