Wafer in zaffiro da 6 pollici da 156 mm 159 mm per carrierC-Plane DSP TTV
Specifica
Articolo | Wafer in zaffiro C-plane da 6 pollici (0001). | |
Materiali di cristallo | 99,999%, Al2O3 monocristallino di elevata purezza | |
Grado | Prime, Epi-Ready | |
Orientamento della superficie | Piano C(0001) | |
Angolo fuori piano C rispetto all'asse M 0,2 +/- 0,1° | ||
Diametro | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Spessore | 650 μm +/- 25 μm | |
Orientamento piatto primario | Piano C(00-01) +/- 0,2° | |
Lato singolo lucido | Superficie anteriore | Epi-lucidato, Ra <0,2 nm (mediante AFM) |
(SSP) | Superficie posteriore | Macinato fine, Ra = da 0,8 μm a 1,2 μm |
Doppio lato lucido | Superficie anteriore | Epi-lucidato, Ra <0,2 nm (mediante AFM) |
(DSP) | Superficie posteriore | Epi-lucidato, Ra <0,2 nm (mediante AFM) |
TTV | < 20 μm | |
ARCO | < 20 μm | |
ORDITO | < 20 μm | |
Pulizia/Imballaggio | Pulizia di camere bianche e confezionamento sottovuoto di classe 100, | |
25 pezzi in confezione a cassetta o confezione singola. |
Il metodo Kylopoulos (metodo KY) è attualmente utilizzato da molte aziende in Cina per produrre cristalli di zaffiro da utilizzare nell'industria elettronica e ottica.
In questo processo, l'ossido di alluminio ad elevata purezza viene fuso in un crogiolo a temperature superiori a 2100 gradi Celsius. Di solito il crogiolo è fatto di tungsteno o molibdeno. Un seme di cristallo orientato con precisione è immerso nell'allumina fusa. Il cristallo seme viene lentamente tirato verso l'alto e può essere ruotato contemporaneamente. Controllando con precisione il gradiente di temperatura, la velocità di estrazione e la velocità di raffreddamento, dalla fusione è possibile produrre un grande lingotto monocristallino, quasi cilindrico.
Dopo che i lingotti di zaffiro monocristallino sono stati cresciuti, vengono forati in barre cilindriche, che vengono poi tagliate allo spessore della finestra desiderato e infine lucidate fino alla finitura superficiale desiderata.