Wafer in zaffiro da 156 mm, 159 mm, 6 pollici per supporto C-Plane DSP TTV
Specificazione
Articolo | Wafer in zaffiro da 6 pollici (0001) | |
Materiali cristallini | Al2O3 monocristallino, elevata purezza, 99,999% | |
Grado | Prime, pronto per Epi | |
Orientamento della superficie | Piano C (0001) | |
Piano C fuori angolo rispetto all'asse M 0,2 +/- 0,1° | ||
Diametro | 100,0 millimetri +/- 0,1 millimetri | |
Spessore | 650 μm +/- 25 μm | |
Orientamento primario piatto | Piano C (00-01) +/- 0,2° | |
Lucidato su un solo lato | Superficie frontale | Lucidato epi, Ra < 0,2 nm (tramite AFM) |
(SSP) | Superficie posteriore | Macinato fine, Ra = da 0,8 μm a 1,2 μm |
Doppio lato lucidato | Superficie frontale | Lucidato epi, Ra < 0,2 nm (tramite AFM) |
(DSP) | Superficie posteriore | Lucidato epi, Ra < 0,2 nm (tramite AFM) |
TTV | < 20 μm | |
ARCO | < 20 μm | |
ORDITO | < 20 μm | |
Pulizia / Imballaggio | Pulizia in camera bianca di classe 100 e confezionamento sottovuoto, | |
25 pezzi in un'unica confezione a cassetta o in confezione monodose. |
Il metodo Kylopoulos (metodo KY) è attualmente utilizzato da molte aziende in Cina per produrre cristalli di zaffiro da utilizzare nei settori dell'elettronica e dell'ottica.
In questo processo, l'ossido di alluminio ad alta purezza viene fuso in un crogiolo a temperature superiori a 2100 gradi Celsius. Solitamente il crogiolo è realizzato in tungsteno o molibdeno. Un seme di cristallo orientato con precisione viene immerso nell'allumina fusa. Il seme di cristallo viene lentamente tirato verso l'alto e può essere ruotato simultaneamente. Controllando con precisione il gradiente di temperatura, la velocità di tiraggio e la velocità di raffreddamento, è possibile produrre dalla fusione un grande lingotto monocristallino, pressoché cilindrico.
Una volta coltivati, i lingotti di zaffiro monocristallino vengono forati in barre cilindriche, che vengono poi tagliate allo spessore desiderato e infine lucidate fino a ottenere la finitura superficiale desiderata.
Diagramma dettagliato


