Stadio con cuscinetto ad aria in SiC ad altissima precisione

Immagine in evidenza del palcoscenico con cuscinetto ad aria in SiC ad altissima precisione

Breve descrizione:

Con la continua evoluzione del settore dei semiconduttori, le apparecchiature di lavorazione e ispezione richiedono prestazioni sempre più elevate. Grazie alla nostra vasta esperienza nel controllo del movimento e nel posizionamento a livello nanometrico, abbiamo sviluppato uno stage planare a doppio asse di tipo H con cuscinetto ad aria ad altissima precisione.

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Caratteristiche

Diagramma dettagliato

Panoramica

Progettato con una struttura ceramica in carburo di silicio (SiC) ottimizzata per elementi finiti e tecnologia a cuscinetti d'aria compensati, il tavolino offre precisione, rigidità e risposta dinamica eccezionali. È ideale per:

Elaborazione e ispezione dei semiconduttori
Micro/nano fabbricazione e metrologia
Taglio e lucidatura a mosca su scala nanometrica
Scansione di precisione ad alta velocità

Caratteristiche principali

Guida con cuscinetto ad aria in SiCper rigidità e precisione ultra elevate
Alta dinamica: velocità fino a 1 m/s, accelerazione fino a 4 g, rapido assestamento
Asse Y del portale a doppia trazionegarantisce elevata capacità di carico e stabilità
Opzioni dell'encoder: reticolo ottico o interferometro laser
Precisione di posizionamento: ±0,15 μm;ripetibilità: ±75 nm
Instradamento dei cavi ottimizzatoper un design pulito e un'affidabilità a lungo termine
Configurazioni personalizzabiliper esigenze specifiche dell'applicazione

Design ultra-preciso e architettura a trasmissione diretta e senza contatto

Telaio in ceramica SiC: ~5 volte la rigidità della lega di alluminio e ~5 volte inferiore dilatazione termica, garantendo stabilità ad alta velocità e robustezza termica.
Cuscinetto ad aria compensato: Il design proprietario migliora la rigidità, la capacità di carico e la stabilità del movimento.
Prestazioni dinamiche: Supporta una velocità di 1 m/s e un'accelerazione di 4 g, ideale per processi ad alta produttività.
Integrazione perfetta: Compatibile con sistemi di isolamento dalle vibrazioni, stadi rotanti, moduli di inclinazione e piattaforme di movimentazione wafer.
Gestione dei cavi: Il raggio di curvatura controllato riduce al minimo lo stress, garantendo una maggiore durata.

Motore lineare senza nucleo: Movimento fluido senza alcuna forza di attrito.
Azionamento multimotore: Il posizionamento del motore sul piano di carico migliora la rettilineità, la planarità e la precisione angolare.
Isolamento termico: I motori sono isolati dalla struttura del palco; raffreddamento ad aria o ad acqua opzionale per cicli di lavoro elevati.

Specifiche

Modello	400-400	500-500	600-600
Assi	X (scansione) / Y (passo)	X (scansione) / Y (passo)	X (scansione) / Y (passo)
Viaggio (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Precisione (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Ripetibilità (nm)	±75	±100	±100
Risoluzione (nm)	0,3	0,3	0,3
Velocità massima (m/s)	1	1	1
Accelerazione (g)	4	4	4
Rettilineità (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilità (nm)	±5	±5	±5
Carico massimo (kg)	20	20	20
Beccheggio/Rollaggio/Imbardata (arco-sec)	±1	±1	±1

Condizioni di prova:

Aria fornita: pulita, asciutta; punto di rugiada ≤ 0°F; filtrazione delle particelle ≤ 0,25 μm; o azoto al 99,99%.
Precisione misurata a 25 mm sopra il centro del palco a 20±1 °C, 40–60% RH.

Applicazioni

Litografia, ispezione e manipolazione dei wafer dei semiconduttori
Micro/nanofabbricazione e metrologia di precisione
Produzione di ottiche di fascia alta e interferometria
Ricerca scientifica aerospaziale e avanzata

FAQ – Stadio con cuscinetto ad aria in carburo di silicio

1. Che cosa è uno stadio a cuscinetto d'aria?

Un palco con cuscinetto d'aria utilizza una sottile pellicola di aria pressurizzata tra il palco e la guida per forniremovimento senza attrito, senza usura e ultra fluidoA differenza dei cuscinetti meccanici convenzionali, elimina l'effetto stick-slip, garantisce una precisione nanometrica e garantisce un'affidabilità a lungo termine.

2. Perché utilizzare il carburo di silicio (SiC) per la struttura dello stadio?

Elevata rigidità: ~5 volte quella della lega di alluminio, riducendo al minimo la deformazione durante il movimento dinamico.
Bassa dilatazione termica: ~5 volte inferiore all'alluminio, mantenendo la precisione anche in caso di variazioni di temperatura.
Leggero: Densità inferiore rispetto all'acciaio, che consente operazioni ad alta velocità e accelerazione.
Ottima stabilità: Smorzamento e rigidità superiori per un posizionamento ultra-preciso.

3. Il palco necessita di lubrificazione o manutenzione?

Non è necessaria alcuna lubrificazione tradizionale poiché non c'ènessun contatto meccanicoLa manutenzione consigliata include:

Fornituraaria compressa pulita e asciutta o azoto
Ispezione periodica dei filtri e degli essiccatori
Monitoraggio dei cavi e dei sistemi di raffreddamento

4. Quali sono i requisiti di alimentazione dell'aria?

Punto di rugiada: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtrazione delle particelle: ≤ 0,25 μm
Aria pulita e secca o azoto puro al 99,99%
Pressione stabile con fluttuazione minima

Chi siamo

XKH è specializzata nello sviluppo, nella produzione e nella vendita di vetri ottici speciali e nuovi materiali cristallini ad alta tecnologia. I nostri prodotti sono destinati all'elettronica ottica, all'elettronica di consumo e al settore militare. Offriamo componenti ottici in zaffiro, coperture per lenti di telefoni cellulari, wafer in ceramica, LT, carburo di silicio (SIC), quarzo e cristalli semiconduttori. Grazie a competenze specialistiche e attrezzature all'avanguardia, eccelliamo nella lavorazione di prodotti non standard, con l'obiettivo di diventare un'azienda leader nel settore dei materiali optoelettronici ad alta tecnologia.