Substrati di vetro TGV Wafer da 12 pollici Punzonatura del vetro

I substrati di vetro hanno prestazioni migliori in termini di proprietà termiche, stabilità fisica e sono più resistenti al calore e meno soggetti a problemi di deformazione o deformazione dovuti alle alte temperature;

Inoltre, le proprietà elettriche uniche del nucleo in vetro consentono minori perdite dielettriche, consentendo una trasmissione più chiara del segnale e della potenza. Di conseguenza, la perdita di potenza durante la trasmissione del segnale viene ridotta e l'efficienza complessiva del chip viene naturalmente aumentata. Lo spessore del substrato del nucleo in vetro può essere ridotto di circa la metà rispetto alla plastica ABF, e l'assottigliamento migliora la velocità di trasmissione del segnale e l'efficienza energetica.

Tecnologia di foratura del TGV:

Il metodo di incisione laser indotta viene utilizzato per indurre una zona di denaturazione continua tramite laser pulsato, dopodiché il vetro trattato con laser viene immerso in una soluzione di acido fluoridrico per l'incisione. La velocità di incisione del vetro con zona di denaturazione in acido fluoridrico è maggiore rispetto a quella del vetro non denaturato, consentendo la formazione di fori passanti.

Riempimento TGV:

In primo luogo, vengono realizzati i fori ciechi del TGV. In secondo luogo, lo strato di base viene depositato all'interno del foro cieco del TGV mediante deposizione fisica da vapore (PVD). In terzo luogo, la galvanica bottom-up consente di ottenere un riempimento omogeneo del TGV; infine, attraverso l'incollaggio temporaneo, la molatura posteriore, la lucidatura chimico-meccanica (CMP), l'esposizione al rame e la separazione, si forma una piastra di trasferimento TGV riempita di metallo.