Wafer di silicio a film sottile di ossido termico SiO2 da 4 pollici 6 pollici 8 pollici 12 pollici
Introduzione della scatola per wafer
Il processo principale di produzione dei wafer di silicio ossidato comprende solitamente le seguenti fasi: crescita del silicio monocristallino, taglio dei wafer, lucidatura, pulizia e ossidazione.
Crescita del silicio monocristallino: in primo luogo, il silicio monocristallino viene coltivato ad alte temperature mediante metodi come il metodo Czochralski o il metodo Float-zone. Questo metodo consente la preparazione di singoli cristalli di silicio con elevata purezza e integrità reticolare.
Taglio a cubetti: il silicio monocristallino cresciuto ha solitamente una forma cilindrica e deve essere tagliato in wafer sottili per essere utilizzato come substrato del wafer. Il taglio viene solitamente eseguito con una fresa diamantata.
Lucidatura: La superficie del wafer tagliato può essere irregolare e richiede una lucidatura chimico-meccanica per ottenere una superficie liscia.
Pulizia: Il wafer lucido viene pulito per rimuovere impurità e polvere.
Ossidante: infine, i wafer di silicio vengono inseriti in un forno ad alta temperatura per il trattamento ossidante per formare uno strato protettivo di biossido di silicio per migliorarne le proprietà elettriche e la resistenza meccanica, oltre a fungere da strato isolante nei circuiti integrati.
Gli usi principali dei wafer di silicio ossidato includono la produzione di circuiti integrati, la produzione di celle solari e la produzione di altri dispositivi elettronici. I wafer di ossido di silicio sono ampiamente utilizzati nel campo dei materiali semiconduttori per le loro eccellenti proprietà meccaniche, stabilità dimensionale e chimica, capacità di operare a temperature e pressioni elevate, nonché buone proprietà isolanti e ottiche.
I suoi vantaggi includono una struttura cristallina completa, composizione chimica pura, dimensioni precise, buone proprietà meccaniche, ecc. Queste caratteristiche rendono i wafer di ossido di silicio particolarmente adatti per la produzione di circuiti integrati ad alte prestazioni e altri dispositivi microelettronici.