Braccio/mano in ceramica SiC al carburo di silicio per sistemi di movimentazione critici

Braccio/mano a forcella in ceramica SiC al carburo di silicio per sistemi di movimentazione critici Immagine in evidenza

Breve descrizione:

ILBraccio/mano in ceramica al carburo di silicioè un componente all'avanguardia sviluppato per l'automazione industriale avanzata, la lavorazione dei semiconduttori e gli ambienti ultra-puliti. La sua particolare architettura biforcuta e la superficie ceramica ultrapiatta lo rendono ideale per la manipolazione di substrati delicati, tra cui wafer di silicio, pannelli di vetro e dispositivi ottici. Progettato con precisione e realizzato in carburo di silicio ultrapuro,Braccio/mano in ceramica al carburo di siliciooffre una resistenza meccanica, un'affidabilità termica e un controllo della contaminazione senza pari.

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Caratteristiche

Diagramma dettagliato

Introduzione del braccio/mano in ceramica al carburo di silicio

A differenza dei bracci convenzionali in metallo o plastica,Braccio/mano in ceramica al carburo di silicioOffre prestazioni stabili in condizioni termiche, chimiche e di vuoto estreme. Sia che operi in una camera bianca di Classe 1 o in una camera al plasma ad alto vuoto, questo componente garantisce un trasporto sicuro, efficiente e senza residui di componenti di valore.

Con una struttura su misura per bracci robotici, manipolatori di wafer e strumenti di trasferimento automatizzati,Braccio/mano in ceramica al carburo di silicioè un aggiornamento intelligente per qualsiasi sistema ad alta precisione.

Processo di fabbricazione del braccio/mano in ceramica al carburo di silicio

Creazione di un prodotto ad alte prestazioniBraccio/mano in ceramica al carburo di silicioprevede un flusso di lavoro di ingegneria ceramica rigorosamente controllato che garantisce ripetibilità, affidabilità e tassi di difettosità estremamente bassi.

1. Ingegneria dei materiali

Nella fabbricazione delBraccio/mano in ceramica al carburo di silicio, garantendo una bassa contaminazione ionica e un'elevata resistenza alla compressione. Le polveri vengono miscelate con precisione con additivi di sinterizzazione e leganti per ottenere una densificazione ottimale.

2. Formazione della struttura di base

La geometria di base delbraccio/mano della forcellaViene prodotto mediante pressatura isostatica a freddo o stampaggio a iniezione, che garantisce un'elevata densità a verde e una distribuzione uniforme delle sollecitazioni. La configurazione a U è ottimizzata per il rapporto rigidità/peso e la risposta dinamica.

3. Processo di sinterizzazione

Il corpo verde delBraccio/mano in ceramica al carburo di silicioviene sinterizzato in un forno a gas inerte ad alta temperatura, a oltre 2000 °C. Questa fase garantisce una densità quasi teorica, producendo un componente resistente a cricche, deformazioni e deviazioni dimensionali sotto carichi termici reali.

4. Rettifica e lavorazione di precisione

Per modellare le dimensioni finali dell'oggetto vengono utilizzati utensili diamantati CNC avanzati.Braccio/mano in ceramica al carburo di silicioLe tolleranze ridotte (±0,01 mm) e la finitura superficiale a specchio riducono il rilascio di particelle e lo stress meccanico.

5. Condizionamento e pulizia delle superfici

La finitura superficiale finale comprende la lucidatura chimica e la pulizia ad ultrasuoni per preparare ilbraccio/mano della forcellaper l'integrazione diretta in sistemi ultra-puliti. Sono disponibili anche rivestimenti opzionali (CVD-SiC, strati antiriflesso).

Questo meticoloso processo garantisce che ogniBraccio/mano in ceramica al carburo di siliciosoddisfa i più rigorosi standard industriali, compresi i requisiti SEMI e ISO per le camere bianche.

Parametro del braccio/mano in ceramica al carburo di silicio

Articolo	Condizioni di prova	Dati	Unità
Contenuto di carburo di silicio	/	>99,5	%
Granulometria media	/	4-10	micron
Densità	/	>3.14	g/cm3
Porosità apparente	/	<0,5	Vol %
Durezza Vickers	HV0.5	2800	Kg/mm2
Modulo di rottura (3 punti)	Dimensioni della barra di prova: 3 x 4 x 40 mm	450	MPa
Resistenza alla compressione	20°C	3900	MPa
Modulo di elasticità	20°C	420	Media dei voti
Resistenza alla frattura	/	3.5	MPa/m^1/2
Conduttività termica	20°C	160	W/(mK)
Resistività elettrica	20°C	10⁶-10⁸	Ωcm
Coefficiente di dilatazione termica	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
Temperatura massima di applicazione	Atmosfera di ossido	1600	°C
Temperatura massima di applicazione	Atmosfera inerte	1950	°C

Applicazioni del braccio/mano in ceramica al carburo di silicio

ILBraccio/mano in ceramica al carburo di silicioè progettato per l'uso in applicazioni ad alta precisione, ad alto rischio e sensibili alla contaminazione. Consente la movimentazione, il trasferimento o il supporto affidabili di componenti critici senza compromessi.

➤ Industria dei semiconduttori

Utilizzato come forcella robotica nelle stazioni di trasferimento wafer front-end e FOUP.
Integrato in camere a vuoto per processi di incisione al plasma e PVD/CVD.
Funziona come braccio portante negli strumenti di metrologia e di allineamento wafer.

ILBraccio/mano in ceramica al carburo di silicioelimina i rischi di scariche elettrostatiche (ESD), supporta la precisione dimensionale e resiste alla corrosione del plasma.

➤ Fotonica e Ottica

Supporta lenti delicate, cristalli laser e sensori durante la fabbricazione o l'ispezione.
La sua elevata rigidità previene le vibrazioni, mentre il corpo in ceramica resiste alla contaminazione delle superfici ottiche.

➤ Produzione di display e pannelli

Gestisce vetri sottili, moduli OLED e substrati LCD durante il trasporto o l'ispezione.
Il piatto e chimicamente inerteBraccio/mano in ceramica al carburo di silicioprotegge dai graffi e dall'attacco chimico.

➤ Strumenti aerospaziali e scientifici

Utilizzato nell'assemblaggio di ottiche satellitari, nella robotica del vuoto e nelle configurazioni di linee di luce di sincrotrone.
Funziona in modo impeccabile nelle camere bianche di livello spaziale e negli ambienti soggetti a radiazioni.

In ogni campo, ilBraccio/mano in ceramica al carburo di siliciomigliora l'efficienza del sistema, riduce i guasti dei componenti e riduce al minimo i tempi di fermo.

FAQ – Domande frequenti su braccio/mano in ceramica al carburo di silicio

D1: Cosa rende il braccio/mano in ceramica al carburo di silicio migliore rispetto alle alternative in metallo?

ILBraccio/mano in ceramica al carburo di silicioPresenta una durezza superiore, una densità inferiore, una migliore resistenza chimica e una dilatazione termica significativamente inferiore rispetto ai metalli. È inoltre compatibile con le camere bianche e non è soggetto a corrosione o formazione di particelle.

D2: Posso richiedere dimensioni personalizzate per il mio braccio/mano in ceramica al carburo di silicio?

Sì. Offriamo una personalizzazione completa, inclusa la larghezza della forcella, lo spessore, i fori di montaggio, i ritagli e i trattamenti superficiali. Che si tratti di wafer da 6", 8" o 12", il tuobraccio/mano della forcellapuò essere adattato per adattarsi.

D3: Quanto dura il braccio/mano in ceramica al carburo di silicio sottoposto a plasma o vuoto?

Grazie al materiale SiC ad alta densità e alla natura inerte, ilbraccio/mano della forcellaRimane funzionale anche dopo migliaia di cicli di processo. Presenta un'usura minima sotto carichi termici aggressivi al plasma o sotto vuoto.

D4: Il prodotto è adatto alle camere bianche di Classe ISO 1?

Assolutamente. IlBraccio/mano in ceramica al carburo di silicioviene prodotto e confezionato in strutture certificate per camere bianche, con livelli di particelle ben al di sotto dei requisiti ISO Classe 1.

D5: Qual è la temperatura massima di esercizio per questo braccio/mano della forcella?

ILBraccio/mano in ceramica al carburo di siliciopuò funzionare ininterrottamente fino a 1500°C, il che lo rende adatto all'uso diretto in camere di processo ad alta temperatura e sistemi di vuoto termico.

Queste FAQ riflettono le preoccupazioni tecniche più comuni di ingegneri, responsabili di laboratorio e integratori di sistemi che utilizzanoBraccio/mano in ceramica al carburo di silicio.

Chi siamo

XKH è specializzata nello sviluppo, nella produzione e nella vendita di vetri ottici speciali e nuovi materiali cristallini ad alta tecnologia. I nostri prodotti sono destinati all'elettronica ottica, all'elettronica di consumo e al settore militare. Offriamo componenti ottici in zaffiro, coperture per lenti di telefoni cellulari, wafer in ceramica, LT, carburo di silicio (SIC), quarzo e cristalli semiconduttori. Grazie a competenze specialistiche e attrezzature all'avanguardia, eccelliamo nella lavorazione di prodotti non standard, con l'obiettivo di diventare un'azienda leader nel settore dei materiali optoelettronici ad alta tecnologia.