Ventosa per vassoio in ceramica al carburo di silicio Fornitura di tubi in ceramica al carburo di silicio Sinterizzazione ad alta temperatura Lavorazione personalizzata
Caratteristiche principali:
1. Vassoio in ceramica al carburo di silicio
- Elevata durezza e resistenza all'usura: la durezza è vicina a quella del diamante e può resistere a lungo all'usura meccanica durante la lavorazione dei wafer.
- Elevata conduttività termica e basso coefficiente di dilatazione termica: rapida dissipazione del calore e stabilità dimensionale, evitando deformazioni causate da stress termico.
- Elevata planarità e finitura superficiale: la planarità della superficie arriva fino al livello del micron, garantendo il contatto completo tra il wafer e il disco, riducendo contaminazione e danni.
Stabilità chimica: Elevata resistenza alla corrosione, adatto ai processi di pulizia a umido e di incisione nella produzione di semiconduttori.
2. Tubo ceramico in carburo di silicio
- Resistenza alle alte temperature: può funzionare in ambienti ad alta temperatura, superiori a 1600°C, per lungo tempo, adatto per processi ad alta temperatura dei semiconduttori.
Eccellente resistenza alla corrosione: resistente ad acidi, alcali e a una varietà di solventi chimici, adatto ad ambienti di processo difficili.
- Elevata durezza e resistenza all'usura: resistono all'erosione delle particelle e all'usura meccanica, prolungando la durata utile.
- Elevata conduttività termica e basso coefficiente di dilatazione termica: rapida conduzione del calore e stabilità dimensionale, riducendo la deformazione o la formazione di crepe causate da stress termico.
Parametri del prodotto:
Parametro del vassoio ceramico in carburo di silicio:
| (Proprietà del materiale) | (Unità) | (ssico) | |
| (contenuto di SiC) | (in peso)% | >99 | |
| (Granulometria media) | micron | 4-10 | |
| (Densità) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porosità apparente) | Vo1% | <0,5 | |
| (durezza Vickers) | Alto potenziale 0,5 | Media dei voti | 28 |
| *() Resistenza alla flessione* (tre punti) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Resistenza alla compressione) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulo elastico) | 20ºC | Media dei voti | 420 |
| (Tenibilità alla frattura) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Conduttività termica) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Resistività) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Coefficiente di dilatazione termica) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Temperatura massima di esercizio) | oºC | 1700 | |
Parametro del tubo ceramico in carburo di silicio:
| Elementi | Indice |
| α-SIC | 99% minimo |
| Porosità apparente | 16% massimo |
| Densità apparente | 2,7 g/cm3 min |
| Resistenza alla flessione ad alta temperatura | 100 Mpa min |
| Coefficiente di dilatazione termica | K-1 4.7x10 -6 |
| Coefficiente di conduttività termica (1400ºC) | 24 W/mk |
| Temperatura massima di esercizio | 1650ºC |
Principali applicazioni:
1. Piastra in ceramica al carburo di silicio
- Taglio e lucidatura wafer: funge da piattaforma di appoggio per garantire elevata precisione e stabilità durante il taglio e la lucidatura.
- Processo litografico: il wafer viene fissato nella macchina litografica per garantire un posizionamento ad alta precisione durante l'esposizione.
- Lucidatura chimico-meccanica (CMP): funge da piattaforma di supporto per i tamponi lucidanti, garantendo una distribuzione uniforme della pressione e del calore.
2. Tubo ceramico in carburo di silicio
- Tubo del forno ad alta temperatura: utilizzato per apparecchiature ad alta temperatura quali forni a diffusione e forni a ossidazione per trasportare wafer per trattamenti di processo ad alta temperatura.
- Processo CVD/PVD: come tubo portante nella camera di reazione, resistente alle alte temperature e ai gas corrosivi.
- Accessori per apparecchiature a semiconduttore: per scambiatori di calore, gasdotti, ecc., per migliorare l'efficienza della gestione termica delle apparecchiature.
XKH offre una gamma completa di servizi personalizzati per vassoi in ceramica al carburo di silicio, ventose e tubi in ceramica al carburo di silicio. XKH può personalizzare vassoi e ventose in ceramica al carburo di silicio in base alle esigenze del cliente, in termini di dimensioni, forme e rugosità superficiale, e supportare trattamenti di rivestimento speciali, migliorando la resistenza all'usura e alla corrosione. Per i tubi in ceramica al carburo di silicio, XKH può personalizzare una varietà di diametri interni, diametri esterni, lunghezze e strutture complesse (come tubi sagomati o porosi), e fornire lucidatura, rivestimento antiossidante e altri processi di trattamento superficiale. XKH garantisce ai clienti di sfruttare appieno i vantaggi prestazionali dei prodotti in ceramica al carburo di silicio per soddisfare i severi requisiti di settori manifatturieri di fascia alta come semiconduttori, LED e fotovoltaico.
Diagramma dettagliato
