Substrato di recupero fittizio da 1-100 Ω wafer di silicio tipo P/N (100) da 8 pollici
Introduzione della scatola per wafer
Il wafer di silicio da 8 pollici è un materiale di substrato di silicio comunemente usato ed è ampiamente utilizzato nel processo di produzione di circuiti integrati. Tali wafer di silicio vengono comunemente utilizzati per realizzare vari tipi di circuiti integrati, inclusi microprocessori, chip di memoria, sensori e altri dispositivi elettronici. I wafer di silicio da 8 pollici sono comunemente utilizzati per realizzare chip di dimensioni relativamente grandi, con vantaggi tra cui un'area superficiale più ampia e la capacità di realizzare più chip su un singolo wafer di silicio, con conseguente maggiore efficienza produttiva. Il wafer di silicio da 8 pollici ha anche buone proprietà meccaniche e chimiche, adatte per la produzione di circuiti integrati su larga scala.
Caratteristiche del prodotto
Tipo P/N da 8", wafer di silicio lucido (25 pezzi)
Orientamento: 200
Resistività: 0,1 - 40 ohm•cm (può variare da lotto a lotto)
Spessore: 725+/-20um
Grado Prime/Monitor/Test
PROPRIETÀ MATERIALI
Parametro | Caratteristica |
Tipo/Drogante | P, Boro N, Fosforo N, Antimonio N, Arsenico |
Orientamenti | <100>, <111> ritaglia gli orientamenti in base alle specifiche del cliente |
Contenuto di ossigeno | 1019ppmA Tolleranze personalizzate in base alle specifiche del cliente |
Contenuto di carbonio | <0,6 ppmA |
PROPRIETÀ MECCANICHE
Parametro | Primo | Monitorare/Test A | Test |
Diametro | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Spessore | 725±20μm (standard) | 725±25μm(standard) 450±25μm 625±25μm 1000±25μm 1300±25μm 1500±25 µm | 725±50μm (standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Arco | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Avvolgere | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Arrotondamento dei bordi | SEMI-STD | ||
Marcatura | Solo SEMI-Flat primario, SEMI-STD Flats Jeida Flat, Notch |
Parametro | Primo | Monitorare/Test A | Test |
Criteri del lato anteriore | |||
Condizioni superficiali | Lucido Chimico Meccanico | Lucido Chimico Meccanico | Lucido Chimico Meccanico |
Rugosità superficiale | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Contaminazione Particelle@ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Foschia, pozzi Buccia d'arancia | Nessuno | Nessuno | Nessuno |
Visto, Marks Striature | Nessuno | Nessuno | Nessuno |
Criteri del lato posteriore | |||
Crepe, zampe di gallina, segni di sega, macchie | Nessuno | Nessuno | Nessuno |
Condizioni superficiali | Incisione caustica |