GaN su zaffiro da 6 pollici
Wafer epi-strato GaN da 150 mm e 6 pollici su silicio/zaffiro/SiC Wafer epitassiale al nitruro di gallio
Il wafer con substrato in zaffiro da 6 pollici è un materiale semiconduttore di alta qualità costituito da strati di nitruro di gallio (GaN) cresciuti su un substrato in zaffiro. Il materiale ha eccellenti proprietà di trasporto elettronico ed è ideale per la produzione di dispositivi a semiconduttore ad alta potenza e alta frequenza.
Metodo di produzione: il processo di produzione prevede la crescita di strati di GaN su un substrato di zaffiro utilizzando tecniche avanzate come la deposizione chimica in fase vapore metallo-organica (MOCVD) o l'epitassia a fascio molecolare (MBE). Il processo di deposizione viene effettuato in condizioni controllate per garantire un'elevata qualità dei cristalli e un film uniforme.
Applicazioni GaN-On-Sapphire da 6 pollici: i chip con substrato in zaffiro da 6 pollici sono ampiamente utilizzati nelle comunicazioni a microonde, nei sistemi radar, nella tecnologia wireless e nell'optoelettronica.
Alcune applicazioni comuni includono
1. Amplificatore di potenza RF
2. Industria dell'illuminazione a LED
3. Apparecchiature di comunicazione di rete wireless
4. Dispositivi elettronici in ambienti ad alta temperatura
5. Dispositivi optoelettronici
Specifiche del prodotto
- Dimensioni: il diametro del substrato è di 6 pollici (circa 150 mm).
- Qualità della superficie: la superficie è stata finemente lucidata per fornire un'eccellente qualità dello specchio.
- Spessore: lo spessore dello strato GaN può essere personalizzato in base ai requisiti specifici.
- Imballaggio: il substrato viene accuratamente imballato con materiali antistatici per evitare danni durante il trasporto.
- Bordi di posizionamento: il substrato presenta bordi di posizionamento specifici che facilitano l'allineamento e il funzionamento durante la preparazione del dispositivo.
- Altri parametri: parametri specifici come sottigliezza, resistività e concentrazione di drogaggio possono essere regolati in base alle esigenze del cliente.
Grazie alle proprietà superiori dei materiali e alle diverse applicazioni, i wafer con substrato in zaffiro da 6 pollici rappresentano una scelta affidabile per lo sviluppo di dispositivi a semiconduttore ad alte prestazioni in vari settori.
Substrato | 6” 1mm <111> tipo p Si | 6” 1mm <111> tipo p Si |
Epi ThickAvg | ~5um | ~7um |
Epi SpessoUnif | <2% | <2% |
Arco | +/-45um | +/-45um |
Cracking | <5 mm | <5 mm |
BV verticale | >1000 V | >1400 V |
HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
HEMT SpessoreAvg | 20-30 nm | 20-30 nm |
Tappo SiN in situ | 5-60nm | 5-60nm |
2DEG conc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
Mobilità | ~2000cm2/V (<2%) | ~2000cm2/V (<2%) |
Rsh | <330ohm/mq (<2%) | <330ohm/mq (<2%) |