Substrati SiC da 3 pollici di diametro 76,2 mm HPSI Prime Research e grado Dummy
I substrati di carburo di silicio possono essere suddivisi in due categorie
Substrato conduttivo: si riferisce alla resistività di un substrato di carburo di silicio da 15~30 mΩ-cm. Il wafer epitassiale di carburo di silicio, ottenuto dal substrato conduttivo di carburo di silicio, può essere ulteriormente trasformato in dispositivi di potenza, ampiamente utilizzati nei veicoli a nuova energia, nel fotovoltaico, nelle reti intelligenti e nel trasporto ferroviario.
Il substrato semi-isolante si riferisce alla resistività superiore a 100000Ω-cm del substrato di carburo di silicio, utilizzato principalmente nella fabbricazione di dispositivi a radiofrequenza a microonde in nitruro di gallio, che costituisce la base del campo delle comunicazioni wireless.
È un componente fondamentale nel campo delle comunicazioni wireless.
I substrati conduttivi e semiisolanti in carburo di silicio vengono utilizzati in un'ampia gamma di dispositivi elettronici e di potenza, tra cui, a titolo esemplificativo ma non esaustivo:
Dispositivi semiconduttori ad alta potenza (conduttivi): i substrati in carburo di silicio hanno un'elevata intensità del campo di rottura e conduttività termica e sono adatti alla produzione di transistor e diodi di potenza ad alta potenza e altri dispositivi.
Dispositivi elettronici RF (semi-isolati): i substrati in carburo di silicio hanno un'elevata velocità di commutazione e tolleranza di potenza, adatti per applicazioni quali amplificatori di potenza RF, dispositivi a microonde e interruttori ad alta frequenza.
Dispositivi optoelettronici (semi-isolati): i substrati in carburo di silicio presentano un ampio gap energetico e un'elevata stabilità termica, adatti alla realizzazione di fotodiodi, celle solari, diodi laser e altri dispositivi.
Sensori di temperatura (conduttivi): i substrati in carburo di silicio presentano un'elevata conduttività termica e stabilità termica, adatti alla produzione di sensori ad alta temperatura e strumenti di misurazione della temperatura.
Il processo di produzione e l'applicazione di substrati conduttivi e semiisolanti in carburo di silicio presentano un'ampia gamma di campi e potenzialità, offrendo nuove possibilità per lo sviluppo di dispositivi elettronici e di potenza.
Diagramma dettagliato


