Wafer LNOI con pellicola monocristallina al niobato di litio da 4 pollici e 6 pollici

Breve descrizione:

Il niobato di litio ha eccellenti proprietà elettro-ottiche, non lineari e piezoelettriche. Con l'aiuto di tecnologie avanzate di micro e nano elaborazione, sono stati ampiamente sviluppati dispositivi fotonici integrati basati su film sottili di niobato di litio (LNOI) su isolanti. In futuro, i materiali LNOI ad alte prestazioni supporteranno l’ulteriore sviluppo della micro-nanoottica basata su LNOI, della fotonica integrata e della fotonica a microonde. La produzione di materiali LNOI ad alte prestazioni rappresenterà un passo importante nell'applicazione industriale dei dispositivi optoelettronici al niobato di litio.

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Il processo di preparazione dei materiali LNOI è principalmente suddiviso nelle seguenti quattro fasi

(1) Gli ioni He sono stati iniettati nel materiale di niobato di litio tagliato a X ad una certa energia e introdotti nello strato del difetto ad una certa profondità sotto lo strato superficiale di niobato di litio;

(2) Il materiale di niobato di litio impiantato con ioni è legato ad un substrato di silicio con uno strato di ossido per formare una struttura di legame;

(3) La struttura di legame è stata ricotta per far evolvere i difetti introdotti dall'impianto di ioni He e aggregarli per formare crepe. Infine, il niobato di litio è stato separato lungo lo strato del difetto per formare le fette residue di niobato di litio e i wafer LNOI.

Applicazioni e vantaggi del wafer LNOI

1--Le pellicole piezoelettriche di niobato di litio (LNOI) hanno un elevato coefficiente piezoelettrico e costante dielettrica, che possono convertire l'energia meccanica in energia elettrica o l'energia elettrica in energia meccanica. Pertanto, è ampiamente utilizzato nel campo dei sensori, come sensori di pressione, sensori di accelerazione, sensori di temperatura e così via. Inoltre, la pellicola piezoelettrica di niobato di litio può essere utilizzata anche in dispositivi acustici e dispositivi di vibrazione, come il filtro ceramico piezoelettrico complesso trasduttore ceramico piezoelettrico.

2-Anche la stabilità del film piezoelettrico di niobato di litio è uno dei suoi vantaggi. Grazie alla stabilità della struttura cristallina e all'inerzia chimica, la pellicola piezoelettrica al niobato di litio può funzionare ad alta temperatura, elevata umidità, acidi forti, alcali forti e altri ambienti difficili, con buona resistenza alla corrosione e durata.

La pellicola piezoelettrica al niobato di litio 3 è un nuovo materiale piezoelettrico con prestazioni e stabilità eccellenti e ha un'ampia prospettiva di applicazione. Con il continuo sviluppo della scienza e della tecnologia, la pellicola piezoelettrica al niobato di litio verrà applicata in più città, portando più comodità e innovazione nella vita delle persone