Wafer LNOI in pellicola monocristallina di niobato di litio da 4 pollici e 6 pollici

Breve descrizione:

Il niobato di litio possiede eccellenti proprietà elettro-ottiche, non lineari e piezoelettriche. Grazie all'avanzata tecnologia di micro e nanoprocessing, sono stati ampiamente sviluppati dispositivi fotonici integrati basati su film sottili di niobato di litio (LNOI) su isolanti. In futuro, i materiali LNOI ad alte prestazioni supporteranno l'ulteriore sviluppo di micro-nanoottiche, fotonica integrata e fotonica a microonde basate su LNOI. La produzione di materiali LNOI ad alte prestazioni rappresenterà un passo importante nell'applicazione industriale dei dispositivi optoelettronici in niobato di litio.

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Il processo di preparazione dei materiali LNOI è principalmente suddiviso nei seguenti quattro passaggi

(1) Gli ioni He sono stati iniettati nel materiale di niobato di litio tagliato a X ad una certa energia e introdotti nello strato difettoso ad una certa profondità al di sotto dello strato superficiale di niobato di litio;

(2) Il materiale di niobato di litio impiantato con ioni è legato a un substrato di silicio con uno strato di ossido per formare una struttura di legame;

(3) La struttura di legame è stata sottoposta a ricottura per far evolvere e aggregare i difetti introdotti dall'impianto di ioni He formando delle crepe. Infine, il niobato di litio è stato separato lungo lo strato difettoso per formare le fette di niobato di litio residuo e i wafer di LNOI.

Applicazioni e vantaggi del wafer LNOI

1--I film piezoelettrici in niobato di litio (LNOI) presentano un elevato coefficiente piezoelettrico e una costante dielettrica elevata, che consente di convertire l'energia meccanica in energia elettrica o viceversa. Pertanto, sono ampiamente utilizzati nel campo dei sensori, come sensori di pressione, sensori di accelerazione, sensori di temperatura e così via. Inoltre, il film piezoelettrico in niobato di litio può essere utilizzato anche in dispositivi acustici e dispositivi di vibrazione, come i complessi trasduttori ceramici piezoelettrici e i filtri ceramici piezoelettrici.

2- La stabilità del film piezoelettrico in niobato di litio è un altro dei suoi vantaggi. Grazie alla stabilità della sua struttura cristallina e all'inerzia chimica, il film piezoelettrico in niobato di litio può funzionare ad alte temperature, elevata umidità, acidi forti, basi forti e altri ambienti difficili, con buona resistenza alla corrosione e durata.

3. Il film piezoelettrico al niobato di litio è un nuovo materiale piezoelettrico con eccellenti prestazioni e stabilità, con un'ampia prospettiva applicativa. Grazie al continuo sviluppo della scienza e della tecnologia, il film piezoelettrico al niobato di litio verrà utilizzato in sempre più città, apportando maggiore praticità e innovazione alla vita delle persone.