Wafer di substrato SiC da 2 pollici 4H-semi HPSI per produzione fittizia di qualità di ricerca

Il substrato di carburo di silicio è principalmente suddiviso in tipo conduttivo e semi-isolante. Il substrato di carburo di silicio conduttivo di tipo n è utilizzato principalmente per LED epitassiali a base di GaN e altri dispositivi optoelettronici, dispositivi elettronici di potenza a base di SiC, ecc., mentre il substrato di carburo di silicio SiC semi-isolante è utilizzato principalmente per la produzione epitassiale di dispositivi a radiofrequenza ad alta potenza in GaN. Inoltre, il semi-isolante ad alta purezza HPSI e il semi-isolante SI sono diversi, con una concentrazione di portatori di semi-isolante ad alta purezza compresa tra 3,5 * 1013 ~ 8 * 1015/cm³, con elevata mobilità elettronica; il semi-isolante è un materiale ad alta resistenza, con resistività molto elevata, generalmente utilizzato per substrati di dispositivi a microonde, non conduttivi.

Foglio di substrato di carburo di silicio semi-isolante wafer SiC

La struttura cristallina del SiC determina le sue proprietà fisiche, rispetto a Si e GaAs. Il SiC ha proprietà fisiche; la larghezza di banda proibita è ampia, quasi 3 volte quella del Si, per garantire il funzionamento del dispositivo ad alte temperature con affidabilità a lungo termine; l'intensità del campo di rottura è elevata, 10 volte quella del Si, per garantire la capacità di tensione del dispositivo e migliorarne il valore; il tasso di saturazione degli elettroni è elevato, 2 volte quello del Si, per aumentare la frequenza e la densità di potenza del dispositivo; la conduttività termica è elevata, superiore a quella del Si, la conduttività termica è elevata, la conduttività termica è elevata, la conduttività termica è elevata, superiore a quella del Si, la conduttività termica è elevata. L'elevata conduttività termica, più di 3 volte quella del Si, aumenta la capacità di dissipazione del calore del dispositivo e ne realizza la miniaturizzazione.