Wafer di substrato in zaffiro Al2O3 99,999% ad alta purezza da 4 pollici, diametro 101,6 × 0,65 mm con lunghezza piatta primaria
Descrizione
Di seguito vengono presentate le specifiche comuni dei wafer di zaffiro da 4 pollici:
Spessore: lo spessore dei comuni wafer di zaffiro è compreso tra 0,2 mm e 2 mm e lo spessore specifico può essere personalizzato in base alle esigenze del cliente.
Bordo di posizionamento: solitamente sul bordo del wafer è presente una piccola sezione, detta "bordo di posizionamento", che protegge la superficie e il bordo del wafer ed è solitamente amorfa.
Preparazione della superficie: i comuni wafer di zaffiro vengono macinati meccanicamente e lucidati chimicamente per levigarne la superficie.
Proprietà superficiali: la superficie dei wafer di zaffiro presenta solitamente buone proprietà ottiche, come bassa riflettività e basso indice di rifrazione, per migliorare le prestazioni del dispositivo.
Applicazioni
● Substrato di crescita per composti III-V e II-VI
● Elettronica e optoelettronica
● Applicazioni IR
● Circuito integrato in silicio su zaffiro (SOS)
● Circuito integrato a radiofrequenza (RFIC)
Specificazione
Articolo | Wafer in zaffiro da 650 μm da 4 pollici (0001) | |
Materiali cristallini | Al2O3 monocristallino, elevata purezza, 99,999% | |
Grado | Prime, pronto per Epi | |
Orientamento della superficie | Piano C (0001) | |
Piano C fuori angolo rispetto all'asse M 0,2 +/- 0,1° | ||
Diametro | 100,0 millimetri +/- 0,1 millimetri | |
Spessore | 650 μm +/- 25 μm | |
Orientamento primario piatto | Piano A (11-20) +/- 0,2° | |
Lunghezza piana primaria | 30,0 millimetri +/- 1,0 millimetri | |
Lucidato su un solo lato | Superficie frontale | Lucidato epi, Ra < 0,2 nm (tramite AFM) |
(SSP) | Superficie posteriore | Macinato fine, Ra = da 0,8 μm a 1,2 μm |
Doppio lato lucidato | Superficie frontale | Lucidato epi, Ra < 0,2 nm (tramite AFM) |
(DSP) | Superficie posteriore | Lucidato epi, Ra < 0,2 nm (tramite AFM) |
TTV | < 20 μm | |
ARCO | < 20 μm | |
ORDITO | < 20 μm | |
Pulizia / Imballaggio | Pulizia in camera bianca di classe 100 e confezionamento sottovuoto, | |
25 pezzi in un'unica confezione a cassetta o in confezione monodose. |
Vantiamo una pluriennale esperienza nel settore della lavorazione dello zaffiro, sia nel mercato cinese che in quello internazionale. Per qualsiasi esigenza, non esitate a contattarci.
Diagramma dettagliato


