Produzione di wafer SiC 4H-N/6H-N per la ricerca, grado fittizio, substrato in carburo di silicio Dia150mm

Produzione di wafer SiC 4H-N/6H-N di qualità fittizia, substrato in carburo di silicio con diametro di 150 mm, immagine in evidenza

Breve descrizione:

Possiamo fornire substrati a film sottile superconduttori ad alta temperatura, film sottili magnetici e ferroelettrici, cristalli semiconduttori, cristalli ottici, materiali cristallini per applicazioni laser, e allo stesso tempo forniamo servizi di orientamento, taglio, molatura, lucidatura e altri processi di lavorazione. I nostri substrati in SiC provengono dallo stabilimento Tankeblue in Cina.

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Caratteristiche

Specifiche del substrato in carburo di silicio (SiC) da 6 pollici di diametro

Grado	Zero MPD	Produzione	Grado di ricerca	Grado fittizio
Diametro	150,0 mm±0,25 mm
Spessore	4H-N	350±25µm
	4H-SI	500±25µm
Orientamento del wafer	Sull'asse: <0001>±0,5° per 4H-SI Fuori asse: 4,0° verso <1120>±0,5° per 4H-N
Appartamento primario	{10-10}±5,0°
Lunghezza piana primaria	47,5 mm±2,5 mm
Esclusione del bordo	3 millimetri
TTV/Arco/Ordito	≤15um/≤40um/≤60um
Densità del microtubo	≤1cm-2	≤5cm-2	≤15cm-2	≤50cm-2
Resistività 4H-N 4H-SI	0,015~0,028Ω!cm
	≥1E5Ω!cm
Rugosità	Ra polacco ≤1nm CMP Ra≤0,5nm
#Crepe causate da luce ad alta intensità	Nessuno		1 consentito, ≤2mm	Lunghezza cumulativa ≤10 mm, lunghezza singola ≤2 mm
*Piastre esagonali con luce ad alta intensità	Area cumulativa ≤1%		Area cumulativa ≤ 2%	Area cumulativa ≤ 5%
*Aree politipiche tramite luce ad alta intensità	Nessuno		Area cumulativa ≤ 2%	Area cumulativa ≤ 5%
*&Graffi causati da luce ad alta intensità	3 graffi a 1 x diametro del wafer lunghezza cumulativa		5 graffi a 1 x diametro del wafer lunghezza cumulativa	5 graffi a 1 x lunghezza cumulativa del diametro del wafer
Scheggiatura del bordo	Nessuno		3 consentiti, ≤0,5 mm ciascuno	5 consentiti, ≤1 mm ciascuno
Contaminazione da luce ad alta intensità	Nessuno

Vendite e servizio clienti

Acquisto materiali

Il reparto acquisti materiali è responsabile della raccolta di tutte le materie prime necessarie per la produzione del vostro prodotto. La tracciabilità completa di tutti i prodotti e materiali, comprese le analisi chimiche e fisiche, è sempre disponibile.

Qualità

Durante e dopo la fabbricazione o la lavorazione dei vostri prodotti, il reparto di controllo qualità è coinvolto per garantire che tutti i materiali e le tolleranze soddisfino o superino le vostre specifiche.

Servizio

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