Vetri AR con guida d'onda in carburo di silicio di grado ottico: preparazione di substrati semi-isolanti ad alta purezza

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Sullo sfondo della rivoluzione dell'intelligenza artificiale, gli occhiali AR stanno gradualmente entrando nella coscienza pubblica. In quanto paradigma che fonde perfettamente il mondo virtuale e quello reale, gli occhiali AR si differenziano dai dispositivi VR consentendo agli utenti di percepire simultaneamente sia le immagini proiettate digitalmente sia la luce ambientale. Per ottenere questa duplice funzionalità – proiettare immagini microdisplay negli occhi preservando la trasmissione della luce esterna – gli occhiali AR in carburo di silicio (SiC) di grado ottico impiegano un'architettura a guida d'onda (guida di luce). Questo design sfrutta la riflessione interna totale per trasmettere le immagini, analogamente alla trasmissione in fibra ottica, come illustrato nello schema elettrico.

 

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In genere, un substrato semi-isolante ad alta purezza da 6 pollici può produrre 2 paia di vetri, mentre un substrato da 8 pollici ne può contenere 3-4. L'adozione di materiali SiC conferisce tre vantaggi fondamentali:

 

  1. Indice di rifrazione eccezionale (2,7): consente un campo visivo (FOV) a colori completi >80° con un singolo strato di lenti, eliminando gli artefatti arcobaleno comuni nei progetti AR convenzionali.
  2. Guida d'onda tricolore (RGB) integrata: sostituisce le pile di guide d'onda multistrato, riducendo le dimensioni e il peso del dispositivo.
  3. Conduttività termica superiore (490 W/m·K): attenua il degrado ottico indotto dall'accumulo di calore.

 

Questi meriti hanno determinato una forte domanda di mercato per vetri AR basati su SiC. Il SiC di grado ottico utilizzato è tipicamente costituito da cristalli semi-isolanti ad alta purezza (HPSI), i cui rigorosi requisiti di preparazione contribuiscono agli attuali costi elevati. Di conseguenza, lo sviluppo di substrati SiC HPSI è fondamentale.

 

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1. Sintesi di polvere di SiC semi-isolante
La produzione su scala industriale utilizza prevalentemente la sintesi autopropagante ad alta temperatura (SHS), un processo che richiede un controllo meticoloso:

  • Materie prime: polveri di carbonio/silicio pure al 99,999% con dimensioni delle particelle di 10–100 μm.
  • Purezza del crogiolo: i componenti in grafite vengono sottoposti a purificazione ad alta temperatura per ridurre al minimo la diffusione delle impurità metalliche.
  • Controllo dell'atmosfera: l'argon puro 6N (con purificatori in linea) sopprime l'incorporazione di azoto; è possibile introdurre tracce di gas HCl/H₂ per volatilizzare i composti del boro e ridurre l'azoto, sebbene la concentrazione di H₂ richieda un'ottimizzazione per prevenire la corrosione della grafite.
  • Standard delle apparecchiature: i forni di sintesi devono raggiungere un vuoto di base <10⁻⁴ Pa, con rigorosi protocolli di controllo delle perdite.

 

2. Sfide nella crescita dei cristalli
La crescita del SiC HPSI condivide requisiti di purezza simili:

  • Materia prima: polvere di SiC di purezza 6N+ con B/Al/N <10¹⁶ cm⁻³, Fe/Ti/O al di sotto dei limiti di soglia e metalli alcalini minimi (Na/K).
  • Sistemi a gas: le miscele argon/idrogeno 6N aumentano la resistività.
  • Attrezzatura: le pompe molecolari assicurano un vuoto ultra elevato (<10⁻⁶ Pa); il pretrattamento del crogiolo e lo spurgo con azoto sono fondamentali.

Innovazioni nella lavorazione dei substrati
Rispetto al silicio, i cicli di crescita prolungati del SiC e lo stress intrinseco (che causa crepe/scheggiature dei bordi) richiedono una lavorazione avanzata:

  • Taglio laser: aumenta la resa da 30 wafer (350 μm, sega a filo) a >50 wafer per bolo da 20 mm, con possibilità di assottigliamento di 200 μm. Il tempo di lavorazione si riduce da 10-15 giorni (sega a filo) a <20 min/wafer per cristalli da 8 pollici.

 

3. Collaborazioni industriali

 

Il team Orion di Meta è stato pioniere nell'adozione di guide d'onda in SiC di livello ottico, stimolando investimenti in ricerca e sviluppo. Tra le principali partnership figurano:

  • TankeBlue e MUDI Micro: sviluppo congiunto di lenti a guida d'onda diffrattiva AR.
  • Jingsheng Mech, Longqi Tech, XREAL e Kunyou Optoelectronics: alleanza strategica per l'integrazione della supply chain AI/AR.

 

Le proiezioni di mercato stimano 500.000 unità AR basate su SiC all'anno entro il 2027, che consumeranno 250.000 substrati da 6 pollici (o 125.000 da 8 pollici). Questa tendenza sottolinea il ruolo trasformativo del SiC nell'ottica AR di prossima generazione.

 

XKH è specializzata nella fornitura di substrati SiC 4H-semi-isolanti (4H-SEMI) di alta qualità con diametri personalizzabili da 2 a 8 pollici, progettati su misura per soddisfare requisiti applicativi specifici nei settori RF, elettronica di potenza e ottica AR/VR. I nostri punti di forza includono un'affidabile fornitura in grandi volumi, una personalizzazione di precisione (spessore, orientamento, finitura superficiale) e una lavorazione interna completa, dalla crescita cristallina alla lucidatura. Oltre ai substrati 4H-SEMI, offriamo anche substrati 4H-N, 4H/6H-P e 3C-SiC, a supporto di diverse innovazioni nei settori dei semiconduttori e dell'optoelettronica.

 

SiC 4H-SEMI Tipo

 

 

 


Data di pubblicazione: 08-08-2025